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真空：泛指低于一個大氣壓的氣體狀態

特點：

1、真空吸盤容器受大氣壓的作用，壓力大小決定于容器內外的壓力差；

2、真空狀態下，氣體稀薄，單位體積分子數少，分子之間或與其他質點（如電子、離子）以及器壁的碰撞次數少。

真空科學與技術的分支學科

真空技術：真空獲得、測量、檢漏、真空系統及元件

真空冶煉：鑄造、熱處理、焊接、單晶體制備

等離子體科學與技術：磁控濺射、離子鍍、CVD、等離子體顯示器

薄膜科學與技術：蒸發鍍、離子鍍、CVD、濺射鍍膜

電子材料加工工藝：電子器件、半導體器件、光電材料、外延、掩膜和刻蝕

表面科學：固體表面電子結構、原子結構，隧道顯微鏡，表面性能測試

應用表面科學：紫外光電子能譜、x光電子能譜等表面分析儀器

納米科學與技術：材料制備、性能測試與分析、應用

真空度的單位及真空區域的劃分

真空度

是對氣體稀薄程度的一種客觀量度，直接的物理量應該是每單位體積中的分子數，由于歷史原因，真空度的高

低通常用氣體壓強表示，氣壓低，真空度高，反之，真空度低。

氣體壓力：氣體作用于單位面積器壁的壓力。單位： 達因/厘米2和牛頓/米2。帕

真空度測量：

早期采用Hg柱高度測量壓強，1大氣壓=760mmHg后來發現Hg有7種同位素，密度不同，這樣同一汞柱表示出

來的壓強不唯一。第10屆國際計量大會決定改用帕來定義標準大氣壓，規定：1標準大氣壓（atm）=1.013×10 5 Pa ，大氣壓的1/760稱為1托（Torr），1托幾乎等于1mmHg，

1Torr=1/760Pa=133.33Pa；

1mbar=100Pa=0.75mmHg

1PSI=6895Pa=68.95mbar=51.715mmHg

真空區域的劃分：

真空區域的劃分沒有統一標準，國內劃分也不統一，一般分

為5個區域：

粗真空760~10Torr

低真空10~10-3 Torr

高真空10-3 ~10 -8 Torr

超高真空10-8 ~10 -12Torr

真空技術的應用

廣泛應用于工業生產、科學研究的各個領域。

例如：壓力差制成真空吸盤、真空送料；電子管、離子加速器（碰撞少）；冶金工業：真空冶煉、脫氣、精煉、熱處理、稀有金屬、半導體材料制備；食品工業，真空保鮮、包裝、冷凍干燥；活性物質防氧化（延長壽命，燈泡）；表面物理學（潔凈表面進行充分實驗研究）